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掃描電鏡等離子清洗機是怎么工作的?

更新時(shí)間:2024-12-05       點(diǎn)擊次數:1038

掃描電鏡等離子清洗機是一款專(zhuān)為掃描電子顯微鏡(SEM)樣品準備而設計的高效清洗設備。該機利用等離子體技術(shù),通過(guò)活性氣體的激發(fā),去除樣品表面的有機污染物和微塵,確保樣品在顯微觀(guān)察中的清潔和高質(zhì)量成像。

掃描電鏡等離子清洗機的工作原理主要基于等離子體的化學(xué)反應和物理作用。通過(guò)高頻電磁場(chǎng)激發(fā)工作氣體,使氣體分子電離并產(chǎn)生高能等離子體。這些等離子體在電場(chǎng)作用下獲得足夠的能量,與周?chē)臍怏w分子發(fā)生碰撞,進(jìn)一步產(chǎn)生更多的高能活性粒子。這些高能粒子與待處理材料表面進(jìn)行碰撞,將表面附著(zhù)的污染物撞擊并脫離表面,從而達到表面清潔的目的。同時(shí),等離子體中的活性粒子與材料表面還可能發(fā)生化學(xué)反應,生成揮發(fā)性物質(zhì),將污染物轉化為易于去除的形式,進(jìn)一步凈化表面。

本公司提供的CIF掃描電鏡等離子清洗機采用遠程等離子清洗源設計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,掃描電鏡等離子清洗機主要用于SEM或FIB等腔體內碳氫化合物的清洗。 

 


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