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Spin Coater勻膠機進(jìn)行滴膠就是簡(jiǎn)單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心,滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應根據光刻膠的粘度和基片的大小來(lái)確定。粘度比較高和/或基片比較大,往往需要滴較多的膠,以保證在高速旋轉階段整個(gè)基片上都涂到膠。
CIF 推出的旋涂機系列產(chǎn)品轉速穩定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結構緊湊實(shí)用,CIF勻膠旋涂?jì)x為實(shí)驗室提供了理想的解決方案。
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